强化项目服务做强骨干企业园区IC装备企业不断取得技术突破

　　年初以来，浑南国际新兴产业园区以打造优质营商环境为核心，围绕做强做大核心骨干企业，强化服务，主动上手解决企业疑难问题，积极推进IC装备产业建设。

　　园区采取“一企一策”工作措施，组织开展项目包服和一对一精细化服务。通过走访企业、组织座谈等多种形式，及时掌握企业经营情况，了解企业政策、资金、基础设施建设等需求，积极探索、落实解决途径。一是主动协调市经信委、区直相关部门，推进解决了芯源微电子、富创精密双回路供电线路建设问题；二是帮助拓荆科技公司协调解决手机信号不畅、工商地址迁移、外围残土清运、进口部件海关报关等问题；三是协调区国资局、建设局、出口加工区公司等部门，组织推进硅基科技公司厂房参资入股、电力增容、双回路供电线路建设、项目融资等问题；四是积极帮助企业做好投融资工作，帮助拓荆争取资金5.4亿元，并已全部到位。

　　今年，IC装备企业不断取得技术新突破。拓荆科技有限公司12英寸PECVD设备获评第十一届(2016年度)中国半导体创新产品；12英寸等离子体增强化学气相沉积(PECVD)设备入选2017年辽宁省重点推广应用工业产品目录。沈阳富创精密设备有限公司为中科信电子装备有限公司制造的离子源核心模块首件，该零件属于离子注入机核心零部件，涉及超精密加工、特种表面处理、精密组装等十几道工艺，以往普遍为进口零件，目前该款首件已成功应用至中科信离子注入机设备中。沈阳硅基科技有限公司为无锡上华微电子提供的Cavity SOI硅片，正式用于压力传感器产品，一季度开始批量供货；与中芯国际洽谈12英寸SOI合作项目；8英寸RFSOI通过上海宏力测试认证。芯源微电子设备有限公司自主研发前道300mm涂胶显影设备取得重大进展，成功研发了自带除气泡功能的供液系统及涂胶显影单元pin升降电机驱动结构，2mm气管应用，节省配管空间；自带除气泡功能的供液系统；涂胶工艺突破，同等工艺水平条件下达到国际先进水平。中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司针对栅刻蚀工艺对真空获得系统提出的特殊要求，攻克了真空泵流场及热场分析、真空系统防腐、真空度快速响应与稳定控制、系统安全预警等关键技术，开发了具有完全自主知识产权的耐强腐蚀、高精度和快速反应的智能调压真空阀门和高耐腐蚀、高可靠性、节能、环保、安全的小体积、大抽速真空获得设备产品，组成了智能联动调压防腐真空集成系统。（国际新兴产业园供稿）